露光装置用光源ユニット
日本で、そして世界で…
私たちの”光”が活きています
1品1仕様で
オーダーメイドする
高性能のUV光源システム
露光装置用光源ユニットとは
フェニックス電機が開発した露光装置用光源ユニットMulti-Lamp Systemは、
プリント基板露光や液晶パネル用カラーフィルター露光、UV接着剤硬化露光など、幅広い用途に用いられる光源ユニットです。
フェニックス電機製
露光装置用光源ユニット
Multi-Lamp Systemの特徴
従来の大型ランプを光源とするものに比べ、下記のメリットを備えています。
- ランプの組み合わせにより
自由な照度が得られる
– 210W 4灯(840W)から300W 400灯(120kW)以上のものまで製作可能。 - 小型超高圧ランプの特長を
活かした効率の良い光源である
– 超高圧のランプのため電力交換効率が良く、少ないエネルギー量で早く強い照射が得られ、
露光効率が上がる。 - ブロードなスペクトルで
高エネルギー照射が可能である
– 従来比1.5倍。 - 横長や縦長の照射面にも
効率の良い露光ができる
– 小型超高圧ランプを平面的にレイアウトするので、照射面に対して最適なランプ配置ができる。 - ランプ交換が容易
– 大型ランプに比べランプが切れた場合の交換が容易で、かつ万一ランプが破損した場合でも、
露光装置に搭載されている他の光学系部品に対するダメージが小さい。 - 繰り返し点灯可能
– 点灯回数200回以上
ランプ灯数の組み合わせにより、適切な照度に調節することが可能です。
※最大 400灯[120kW]以上も可能
/ 1品1仕様のオーダーメイド /
こうした性能面での特長やメリットに加え、フェニックス電機の露光装置用光源ユニットMulti-Lamp Systemの最大の魅力は「1品1仕様」を訴求していることで、「こういうものを創りたい」とのお客様のご要望にお応えし、用途や仕様に合わせた露光装置用光源ユニットをオーダーメイドしています。